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半導体リソグラフィ用に10nm(0.00001mm)スケールの図形を描画する必要があるのですが、0.001mm四方よりも小さな図形を書くことができません。

より微細な図形の描画と寸法表示ができるようになりませんでしょうか。

よろしくお願いします。

2012/06/05(Tue) 12:58:02  [No.3525]


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